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一种基于一维光子晶体的SOI微环光子生物传感器制造技术
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下载一种基于一维光子晶体的SOI微环光子生物传感器的技术资料
文档序号:17343796
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本发明公开了一种基于一维光子晶体的SOI微环光子生物传感器,包括输入输出直波导和微环谐振腔,输入输出直波导与微环谐振腔耦合构成单直波导耦合微环腔,微环谐振腔是刻蚀有一维光子晶体的微环,微环上刻蚀的一维光子晶体包括由非均匀孔和在非均匀孔两端刻...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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