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一种MEMS微型拉曼光谱仪制造技术
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下载一种MEMS微型拉曼光谱仪的技术资料
文档序号:17297307
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本实用新型公开了一种MEMS微型拉曼光谱仪,包括采样模块、控制显示模块、MEMS色散模块,本实用新型的各个模块的集成程度更高,更容易缩小设备体积,可以做成手持式光谱仪,而且本实用新型可以对激光照明系统与拉曼散射光的透镜共光路产生的杂散光进行...
该专利属于江苏师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过江苏师范大学授权不得商用。
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