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一种多自由度尺蠖式精密压电驱动器制造技术
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文档序号:17279085
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本实用新型涉及一种多自由度尺蠖式精密压电驱动器,属于精密加工领域。可实现绕指定方向的精密步进式旋转运动和沿指定方向的步进式直线运动。主要由定子单元、转子单元和输出轴组成。其中定子单元中连接有对心式压电钳位机构和直线驱动机构;转子单元中连接有...
该专利属于吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学授权不得商用。
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