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本实用新型公开了反应除杂提纯氯硅烷的装置系统，包括至少一个除杂反应器和至少一个精馏塔，除杂反应器和精馏塔以串联方式相连接，所述的除杂反应器内填充氧化性无机盐。本实用新型不仅能够将ppb级别的硼、磷杂质进一步脱除至ppt级别，相对于物理吸附法...
该专利属于江苏中能硅业科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏中能硅业科技发展有限公司授权不得商用。

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