下载坩埚、蒸发源及蒸镀设备的技术资料

文档序号:17126169

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种坩埚、蒸发源及蒸镀设备。该坩埚包括坩埚本体,其中,所述坩埚本体包括:分别设置有加热元件的内加热层和外加热层,其中所述外加热层在所述内加热层的外围,围绕所述内加热层设置,所述外加热层与所述内加热层之间的空间形成为待蒸镀材料的...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。