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本发明属于光学领域和微光机电系统领域，尤其涉及一种应用于加速度计的光波导设计及制造，具体为一种应用于加速度计的SU‑8柔性光波导及其制备方法。一种应用于加速度计的SU‑8柔性光波导，包括硅基底；硅基底上设有一层以聚合物NOA73为材料的下包...
该专利属于中北大学所有，仅供学习研究参考，未经过中北大学授权不得商用。

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