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本发明提供了一种多晶硅薄膜的制备方法,其特征在于,包括:(a)沉积非晶硅薄膜;(b)采用脉冲光照射上述非晶硅薄膜,使其晶化。本发明还提供了上述制备方法的产物和包含该产物的太阳能电池。本发明处理温度低,处理时间短,可有效减少非晶硅薄膜中的杂质...该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。
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