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本实用新型涉及等离子镀膜技术领域，特别涉及一种等离子体镀膜装置，包括壳体，壳体内腔设置有加热套和电极基板，加热套、电极基板和壳体内腔的端面围设有加热腔体，加热丝两端分别与入口导流板和出口导流板相固定连接；加热腔体连接有载流气体进气管和载流气...
该专利属于欧钛鑫光电科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过欧钛鑫光电科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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