下载集成电路器件及其制造方法的技术资料

文档序号:16921493

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本公开提供了集成电路器件及其制造方法。一种集成电路器件包括:第一鳍型有源区,在基板的第一区域中,第一鳍型有源区具有第一凹陷,该第一凹陷填充有第一源极/漏极区;第一器件隔离层,覆盖第一鳍型有源区的两个下部侧壁;第二鳍型有源区,在基板的第二区域...
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