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用于砷化镓抛光的磁流变抛光液及其制备方法技术
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下载用于砷化镓抛光的磁流变抛光液及其制备方法的技术资料
文档序号:16912427
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本发明提供了一种用于砷化镓抛光的磁流变抛光液及其制备方法。包括:铁磁性颗粒、去离子水、表面活性剂、其它添加剂和抛光粉,各种组分的重量百分比如下:铁磁性颗粒35%‑75%,去离子水10%‑50%,表面活性剂3%‑7%,α纤维1%‑3%,其它添...
该专利属于北京交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京交通大学授权不得商用。
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