下载一种多晶硅铸锭炉侧板的技术资料

文档序号:16896506

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本实用新型公开一种多晶硅铸锭炉侧板,包括护板本体和设置在距所述护板本体底部300mm~420mm区域内的第一凹槽。所述多晶硅铸锭炉侧板,通过在距离护板本体底部300mm~420mm区域内设置第一凹槽,使得在多晶铸锭过程中,坩埚中的硅锭的顶部...
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