下载一种单晶棒放肩装置及其使用方法的技术资料

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本发明公开了一种单晶棒放肩装置,涉及单晶硅制造技术,用于解决现有的固定式的高频电磁场会导致熔区就会发生流垮,限制了区熔单晶的直径的问题。它包括底座、设置于底座上的反应炉、立柱,所述反应炉包括主炉室和副炉室,所述立柱设置于底座左侧,所述立柱上...
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