专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
青海鑫诺光电科技有限公司
>
一种单晶棒放肩装置及其使用方法制造方法及图纸
>技术资料下载
下载一种单晶棒放肩装置及其使用方法的技术资料
文档序号:16883758
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种单晶棒放肩装置,涉及单晶硅制造技术,用于解决现有的固定式的高频电磁场会导致熔区就会发生流垮,限制了区熔单晶的直径的问题。它包括底座、设置于底座上的反应炉、立柱,所述反应炉包括主炉室和副炉室,所述立柱设置于底座左侧,所述立柱上...
该专利属于青海鑫诺光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青海鑫诺光电科技有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。