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本实用新型提供一种主轴驱动装置，其通过将原本相固定的挡片与转轴分离，并将原本分离的驱动机构与挡片相固定，使驱动机构在失效脱落时，挡片随之一起脱落，这样传感器模块便无法再接收到挡片经过所产生的信号，从而触发化学气相沉积设备的警报，进而让工作人...该专利属于中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。