温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种长行程、高精度测量的光栅位移测量方法，包括如下步骤：双频激光器发出正交偏振的双频激光被分束棱镜和90°折转镜分为两束光，并分别入射到两偏振分光棱镜被两偏振分光棱镜分束为P光及S光；所述P光及S光经过四个四分之一波片后变为右旋...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。