温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

提供能够实现空间光调制元件的高效率化及长寿命化的曝光装置以及曝光方法。曝光装置(100)具备：微透镜阵列(142)，以阵列状排列有将来自光源的光会聚的微透镜；空间光调制部(数字微镜器件)(12)，排列有对由所述微透镜阵列(142)会聚的光进...
该专利属于优志旺电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过优志旺电机株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。