下载一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板和显示装置的技术资料

文档序号:16702360

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板和显示装置用以解决现有技术中存在的金属氧化物薄膜晶体管的制备方法会降低金属氧化物薄膜晶体管的电连接性。本发明方法包括:在金属氧化物有源层上制备第一抗刻蚀层图案,其中第一抗刻蚀层图案掺杂有导电介...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。