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薄膜晶体管的制造方法以及薄膜晶体管技术
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文档序号:16673518
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提供一种能够抑制性能降低以及偏差的薄膜晶体管的制造方法和薄膜晶体管。本发明的薄膜晶体管(1(1B))的制造方法包括如下工序:在基材(2)的一个主面上形成氧化物半导体层(3);在氧化物半导体层(3)上形成第一导电层,在基材(2)的另一个主面上...
该专利属于日本写真印刷株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本写真印刷株式会社授权不得商用。
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