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一种MEMS传感器集成结构制造技术
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下载一种MEMS传感器集成结构的技术资料
文档序号:16668314
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一种MEMS传感器集成结构,包括接线板、外壳,接线板和/或外壳上连接有MEMS传感器,接线板和/或外壳上连接有ASIC芯片,所述MEMS传感器与ASIC芯片通过导线电连接;所述MEMS传感器的数量至少为一个,所述ASIC芯片的数量至少为一个...
该专利属于山东共达电声股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东共达电声股份有限公司授权不得商用。
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