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本发明为一种高速研磨金属层用化学机械研磨液组成物，此研磨液至少包含一氧化剂、一金属研磨促进剂、一有机双质子酸及去离子水所组成，该化学机械研磨液组成物可以单独使用或与研磨粉体并用。藉由本发明的研磨液组成物可提升各种金属层高速研磨后金属层表面的...
该专利属于台湾永光化学工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾永光化学工业股份有限公司授权不得商用。

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