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一种单片集成声表面波时延组件制造技术
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下载一种单片集成声表面波时延组件的技术资料
文档序号:16648307
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本发明涉及一种单片集成声表面波时延组件,包括压电基片,压电基片上组成多个时延单元的输入叉指换能器和多个输出叉指换能器,用于选通时延单元的多个金属梁及其固定电极、控制金属梁的金属梁下拉电极及其下拉信号输入线、下拉信号输入电极以及输出信号总电极...
该专利属于扬州大学所有,仅供学习研究参考,未经过扬州大学授权不得商用。
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