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本发明提出一种HCD机台用具有冷却调温功能的管道冷阱，管壁为双层中空金属结构，其中空部分为环绕状中空管路，中空管路采用上密下疏排管方式，冷却方式采用冷却水或冷却空气作为降温介质，其自带的控制器可以自动量测管道冷阱冷却温度，与设定温度值进行比...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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