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飞秒激光加工系统及方法技术方案
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文档序号:16621520
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本发明提供了一种飞秒激光加工系统及方法,所述方法包括:开启所述第一光闸,关闭所述第二光闸,所述第一光路将所述第一飞秒激光束的激光通量调整至低于所述待加工工件的改性阈值,并将经调整后的第一飞秒激光束传播至待加工工件的待加工区域,对所述待加工工...
该专利属于中南大学所有,仅供学习研究参考,未经过中南大学授权不得商用。
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