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本发明提供了一种石墨烯薄膜、制备方法及半导体器件，该石墨烯薄膜具有多个一面具有开口的微空腔结构，微空腔结构是由石墨烯薄膜表面的凸起结构和/或凹陷结构构成；微空腔结构的开口形成于凸起结构的底部和/或凹陷结构的顶部。本发明利用具有微空腔结构的石...
该专利属于全普光电科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过全普光电科技（上海）有限公司授权不得商用。

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