下载一种氧化锌纳米柱阵列的制备方法的技术资料

文档序号:16554070

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本发明提供一种氧化锌纳米柱阵列的制备方法。利用目前工艺成熟的微电子加工技术,本发明在带有纳米阵列图案的GaN模板上,以Zn(NO3)2和六甲基磷酸三酰胺水溶液作为ZnO纳米柱阵列生长的前驱溶液,采用水热法重力辅助倒置生长制备高度有序、尺寸均...
该专利属于南京信息工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京信息工程大学授权不得商用。

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