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本公开涉及一种立式磁控溅射镀膜用的偏压结构及其夹持装置，该偏压结构包括相对于待镀膜基片固定的一对安装座，设置于一对安装座之间的偏压部，设置于每个安装座和偏压部之间的扭簧，每个扭簧的第一端部相对于偏压部固定，第二端部相对于相应的安装座固定，以...
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