下载一种沉积制备磨粒图案分布磨盘的方法的技术资料

文档序号:16537412

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种沉积制备磨粒图案分布磨盘的方法,所述的磨盘为包括但不限于磨轮、砂轮、端面磨盘、滚轮、修整器、CMP修整器、磨垫、钻头,包含以下步骤:1)确定临时覆盖层的厚度;2)根据磨粒图案的分布对临时覆盖层进行镂空处理;3)将临时覆盖层覆...
该专利属于华侨大学所有,仅供学习研究参考,未经过华侨大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。