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微结构化的隔离衬片制造技术
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文档序号:1653703
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本申请涉及一种制品,该制品具有:基底以及结构化的表面;所述基底具有第一主表面和与该第一主表面相背的第二主表面,所述结构化的表面含有粘附到所述基底的所述第一主表面的一部分上的沉积材料,其中所述材料具有超出该第一主表面至少3微米的高度。该结构化...
该专利属于3M创新有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过3M创新有限公司授权不得商用。
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