下载抛光组合物及使用它的抛光方法的技术资料

文档序号:1652194

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一种抛光组合物,它含有下述组分(a)-(g):(a)至少一种选自二氧化硅、氧化铝、氧化铈、氧化锆和氧化钛的磨料;(b)脂族羧酸;(c)至少一种选自铵盐、碱金属盐、碱土金属盐、有机胺化合物和季铵盐的碱性化合物;(d)至少一种选自柠檬酸、乙二酸...
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