下载一种超净低热器皿吹干仪的技术资料

文档序号:16482038

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本发明公开了一种超净低热器皿吹干仪,包括静压箱、进风装置,所述的进风装置包括进风管、以及依次设于进风管内的初效过滤网、调节阀、风机,所述的静压箱内从上至下依次设有过滤腔、加热腔、干燥腔,所述的过滤腔与加热腔之间设有过滤器,所述的加热腔与干燥...
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