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一种双波长复合能量分布的台式激光精密清洗装置制造方法及图纸
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下载一种双波长复合能量分布的台式激光精密清洗装置的技术资料
文档序号:16463552
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本发明提供了一种双波长复合能量分布的台式激光精密清洗装置,包括工作台、X‑Y电动模组、旋转台组件、激光清洗组件和Z向升降台;X‑Y电动模组固定安装在工作台上,旋转台组件安装在X‑Y电动模组上,Z向升降台安装在工作台上,激光清洗组件安装在Z向...
该专利属于温州职业技术学院所有,仅供学习研究参考,未经过温州职业技术学院授权不得商用。
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