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本发明提供一种OLED蒸镀设备及其防粘板，该防粘板包括支撑基板和设于支撑基板表层的聚酰亚胺薄膜，未蒸镀到被蒸镀基板上的有机材料沉积在聚酰亚胺薄膜的表面。本发明提供的OLED蒸镀设备及其防粘板将未蒸镀到被蒸镀基板上的有机材料直接沉积在聚酰亚胺...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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