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本实用新型提供一种喷气装置以及包含该喷气装置的生产机台，所述喷气装置包括内部具有空腔的喷气管道，所述喷气管道的外壁上开设有与空腔贯通的喷气孔，所述喷气孔的中心轴线与喷气管道的横截面的夹角大于或等于0°且小于90°，且所述喷气孔的中心轴线与喷...该专利属于中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。