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一种将两面通透的超薄氧化铝模板移植到任意固体衬底上的方法技术
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下载一种将两面通透的超薄氧化铝模板移植到任意固体衬底上的方法的技术资料
文档序号:16418372
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本发明涉及一种将两面通透的超薄氧化铝模板移植到任意固体衬底上的方法,该方法使用PMMA溶液作为粘合剂,不需要去除,解决了PMMA作为支撑层时去不干净的问题;该方法先将带有铝基的超薄氧化铝模板移植到衬底上再对铝基进行去除,解决了超薄氧化铝模板...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。
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