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一种散热均匀生长多尺寸蓝宝石的长晶炉制造技术
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文档序号:16395706
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本实用新型公开一种散热均匀生长多尺寸蓝宝石的长晶炉,包括真空电阻炉、环形外加热器、环形内加热器、坩埚、真空泵、冷却组件和冷却气体管,真空电阻炉内部设置有环形外加热器和环形内加热器,环形外加热器和环形内加热器底端边缘处的壁厚小于环形加热器其他...
该专利属于许昌天戈硅业科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过许昌天戈硅业科技有限公司授权不得商用。
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