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本发明涉及一种用于从硅晶片生产太阳能电池的方法，该方法包括使用特定气体混合物蚀刻该硅晶片的步骤，该气体混合物包含氟、氟化氢、一种或多种惰性气体以及任选地一种或多种另外的气体，涉及使用所述方法生产的硅晶片以及所述气体混合物的用途。...
该专利属于索尔维公司所有，仅供学习研究参考，未经过索尔维公司授权不得商用。

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