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本发明提供一种TFT基板的制作方法及液晶显示装置的制作方法。该TFT基板的制作方法，利用一半色调光罩图案化位于钝化层上的光阻层形成相互间隔的第一光阻区域、第二光阻区域，并对钝化层及栅极绝缘层进行干蚀刻，在栅极绝缘层上形成凹槽，之后对第一光阻...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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