下载一种异质结太阳能电池的硅片处理方法的技术资料

文档序号:16302137

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本发明公开了一种异质结太阳能电池的硅片处理方法,包括如下步骤:先对硅片进行去损伤处理;再对硅片进行退火处理,诱发金属杂质及晶体缺陷向表面位移在硅片形成洁净区;然后让硅片进行两面制绒处理,形成金字塔绒面;再进行化学清洗,去除化学氧化层和表面残...
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