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本发明涉及准分子激光退火装置用基板支撑模块，本发明为准分子激光退火装置用基板支撑模块，上述准分子激光退火装置用基板支撑模块包括：工作台，用于放置基板；支架，以向上下方向贯通上述工作台的方式设置，用于将基板装载于工作台上或从工作台上卸载基板；...
该专利属于AP系统股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过AP系统股份有限公司授权不得商用。

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