下载一种用于超大口径凸扁球面检测的光学系统的技术资料

文档序号:16149800

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本发明公开了一种用于超大口径凸扁球面检测的光学系统。该检测光学系统包括平面干涉仪、折反射式球面弯月透镜,其中折反射式球面弯月透镜的折射部分用于补偿待检凸扁球面镜的三级像差、反射部分反射待检凸扁球面镜的出射光线形成自准光路。本发明所述的检测光...
该专利属于中国科学院上海技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。

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