下载基板吸附剥离装置的技术资料

文档序号:16012066

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本实用新型公开了一种基板吸附剥离装置,包括:上定盘;以及下定盘,所述下定盘与所述上定盘相对设置,其中所述上定盘包括可拆卸的多个吸附定盘和多个支撑定盘,所述吸附定盘和所述支撑定盘之间可自由安装组合。所述吸附定盘朝向所述下定盘一侧设置有吸附模块...
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