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本发明公开了一种利用压电原理测量压力的压力传感器及其工作方法，结构简单，且利用压电原理，实现将压力量转化为电学量进行测量，易于实现。本发明的压力传感器包括衬底，可动薄膜、下导体层、中导体层、悬臂梁和上导体层，其中，衬底的上部设有空腔，可动薄...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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