下载一种差动式变极距垂直电极型电容传感器的技术资料

文档序号:15980117

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本发明公开了一种差动式变极距垂直电极型电容传感器,至少包括一对感应电容的静电极与一个感应电容的动电极。一对感应电容的静电极关于感应电容的动电极垂直对称分布且分别与感应电容的动电极保留有一定初始间隙,形成差动式结构垂直电极型电容器。感应电容的...
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