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本发明公开了一种多掩模对准系统和多掩模对准方法。在用于多掩模对准的设备和方法中，提供了包括贯通载体的孔口的载体。对于每个孔口，包括对准特征的组合的框架和阴影掩模定位在由载体支撑的间隔件上，使得组合的框架和阴影掩模的阴影掩模与孔口粗略对准。接...
该专利属于阿德文泰克全球有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过阿德文泰克全球有限公司授权不得商用。

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