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本实用新型公开了一种纳米镀膜设备进料装置，属于真空镀膜技术领域。该装置，输气管路前端与工艺气体管路相连通，后端与反应腔室相连通，蒸发容器安装于输气管路内；化学单体进料管安装于输气管路和蒸发容器上部，且其下端伸入蒸发容器内部,其上端伸出输气管...
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