下载一种高速扫描隧穿显微镜测绝缘样品膜厚形貌缺陷的方法的技术资料

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本发明公开了一种高速扫描隧穿显微镜测绝缘样品膜厚形貌缺陷的方法,包括恒高模式扫描隧道显微镜系统及位于该恒高模式扫描隧道显微镜系统导电电极与导电针尖之间的电介质样品,当电介质样品的介电常数大于电介质样品与针尖间辅助电介质的介电常数、且所述的导...
该专利属于河南师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过河南师范大学授权不得商用。

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