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用于光学探针的模块化微光学器件制造技术
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文档序号:15743503
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本发明涉及用于光学探针的模块化微光学器件。一种光学探针组件(60)的探针本体(61),该探针组件(60)被设计成用于在由坐标测量机器的探头承载的同时测量对象表面,该探针本体包括:位于所述探针本体的第一端的联接单元,该联接单元被设计成用于提供...
该专利属于赫克斯冈技术中心所有,仅供学习研究参考,未经过赫克斯冈技术中心授权不得商用。
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