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本发明涉及一种微机械可调滤波器，包括基片、两个梳齿电容、可调电感、两个可变电容和信号线；基片中部设置有基片凹槽，可调电感包括悬浮设置在基片凹槽内的螺线管电感和微机械开关，微机械开关安装在基片表面且通过静电驱动控制调节螺线管电感；螺线管电感两...
该专利属于北京航天微电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京航天微电科技有限公司授权不得商用。

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