下载一种微纳观尺度微小孔加工机床的技术资料

文档序号:15588116

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本发明公开了一种微纳观尺度微小孔加工机床,包括机床底座、钻削装置、多自由度工作台系统、微纳观显微视频系统及控制系统,多自由度工作台系统设置在机床底座上,多自由度工作台系统包括工作台及工作台驱动装置;钻削装置设置在工作台的上方;微纳观显微视频...
该专利属于山东科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过山东科技大学授权不得商用。

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