下载一种多晶硅锭及其制备方法的技术资料

文档序号:15521288

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本发明提供了一种多晶硅锭的制备方法,包括:提供坩埚,在坩埚底部设置形核剂层;在形核剂层上设置硅块或硅颗粒形成架空层,架空层在垂直于坩埚底部的方向上设有贯通的空隙,架空层的高度不小于10mm;在架空层上铺设硅片,硅片覆盖空隙形成覆盖层,然后在...
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