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一种刀具复合涂层的制备方法技术
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文档序号:15520023
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本发明提供了一种刀具复合涂层的制备方法,具体为:A)将清洗后的刀具装夹在高功率脉冲磁控溅射仪的工件架上,抽真空后开启加热器,再调节电加热器;B)在高功率脉冲磁控溅射仪的腔体中通入惰性气体,开启偏压电源对刀具进行辉光清洗;C)辉光清洗结束后,...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。
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